高性能雙模式壓電驅(qū)動氮化鋁音叉型諧振器

摘要： 設(shè)計并制造了一種面向質(zhì)量傳感器應(yīng)用的高性能雙模式壓電驅(qū)動音叉型諧振器。測試結(jié)果表明，真空中該諧振器扭轉(zhuǎn)振動模式的Q值為9 274,面內(nèi)彎曲振動模式的Q值為11 379;空氣中兩種振動模式的Q值分別為1 019和1 059,使該諧振器可以靈活應(yīng)用在不同空氣阻尼環(huán)境中。通過有限元仿真研究了兩種振動模式對音叉結(jié)構(gòu)不同位置和覆蓋率的質(zhì)量負載的靈敏度特性。研究結(jié)果表明，扭轉(zhuǎn)振動模式和面內(nèi)... （共7頁）