MEMS壓阻式壓力傳感器梁-膜-三島膜結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與優(yōu)化

摘要： 傳統(tǒng)的壓阻式壓力傳感器雖然靈敏度高但非線性度也高。針對(duì)該問(wèn)題，設(shè)計(jì)了一種以敏感膜片為梁-膜-三島結(jié)構(gòu)的新型壓阻式壓力傳感器，通過(guò)在敏感膜片上設(shè)計(jì)3個(gè)方島結(jié)構(gòu)來(lái)提高傳感器的線性度和抗過(guò)載能力；同時(shí)，利用敏感膜片上設(shè)計(jì)的短窄梁結(jié)構(gòu)形成應(yīng)力集中區(qū)，保證壓力傳感器的高靈敏度。對(duì)結(jié)構(gòu)進(jìn)行仿真分析，建立壓力膜尺寸參數(shù)與力學(xué)性能之間的數(shù)學(xué)模型，對(duì)數(shù)學(xué)模型參數(shù)進(jìn)行了分析、擬合和求解，最后求解非... （共10頁(yè)）