基于雙目視覺的FIB-SEM雙束系統(tǒng)圖像三維重建研究

摘要： 由FIB與SEM結(jié)合而成的雙束系統(tǒng)擁有高精度微納加工能力的同時也具有超高空間分辨率成像功能。在微納尺度下使用雙目立體視覺進行三維重建對指導微納材料加工等具有重要意義。本文提出了一種基于雙目視覺的FIB-SEM雙束系統(tǒng)圖像三維重建方案：利用雙目視覺結(jié)合圖像處理技術(shù)測量出樣品表面的深度信息。實驗結(jié)果表明，該方法顯著提高了微納樣品表面深度信息的精準度，為SEM圖像三維構(gòu)建提供了新的思... （共13頁）