光刻法制備的長波紅外超透鏡（英文）

摘要： 長波紅外的超表面在熱成像、大氣遙感和目標(biāo)識別等領(lǐng)域具有巨大的應(yīng)用潛力。在這項(xiàng)研究中，我們設(shè)計(jì)并實(shí)驗(yàn)展示了一種4 mm尺寸的全硅超表面透鏡，其具有大焦深，可在9μm至11.5μm范圍內(nèi)工作。實(shí)驗(yàn)結(jié)果證實(shí)了超透鏡在長波紅外區(qū)域的有效聚焦和成像能力，為超透鏡技術(shù)在長波紅外領(lǐng)域的實(shí)際應(yīng)用鋪平了道路。 （共6頁）