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腔體型超表面非制冷紅外探測(cè)器

紅外與毫米波學(xué)報(bào) 頁(yè)數(shù)： 7 2024-10-15
摘要： 隨著非制冷紅外探測(cè)器像元尺寸的逐步縮小，提高探測(cè)器吸收率變得越來(lái)越重要。該文章基于現(xiàn)有的制備工藝，提出了一種IMIAM(Insulator-Metal-Insulator-Air-Metal)腔體型超表面非制冷紅外探測(cè)器結(jié)構(gòu)，在增強(qiáng)探測(cè)器吸收的同時(shí)有效改善了光敏層受熱的均勻性。通過(guò)系統(tǒng)的仿真優(yōu)化，其在長(zhǎng)波紅外波段（8～14μm）的平均吸收率超過(guò)了97%，使器件幾乎實(shí)現(xiàn)了百分百的... （共7頁(yè)）

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