基于改進(jìn)Faster RCNN的芯片表面缺陷檢測(cè)方法研究

摘要： 由于傳統(tǒng)的機(jī)器視覺算法中存在對(duì)集成電路芯片表面的小特征缺陷目標(biāo)檢測(cè)不明顯，檢測(cè)速度較慢，誤檢率較多?；谏鲜鰡栴}從精度和效率兩方面考慮，提出了一種改進(jìn)Faster RCNN即以VanillaNet-11極簡(jiǎn)網(wǎng)絡(luò)模型作為骨干架構(gòu)，避免了傳統(tǒng)算法ResNet-50帶來深且復(fù)雜的鏈接和注意力機(jī)制問題，同時(shí)進(jìn)一步提升了精度。用ROI Align代替原來的ROI Pooling層量化不匹... （共7頁）