離軸拋物面反射鏡的投影畸變校正研究

摘要： 光學元件在使用基于計算機控制光學表面成形技術(Computer Controlled Optical Surfacing, CCOS)的設備進行迭代加工時，需要導入光學干涉測量的面形數據。而使用無像差點法的自準直檢測光路測量離軸凹拋物面反射鏡時，由光路產生的投影畸變會使檢測的面形圖發(fā)生變形，進而導致工件的面形質量難以快速收斂。針對此問題，本研究提出了一種基于自準直檢測光路的離軸... （共7頁）