大口徑光學鏡面的扇形射流自動清洗技術

摘要： 針對目前大口徑鏡面無與之匹配的自動清洗設備的問題，提出了一種扇形射流自動清洗技術，對扇型噴嘴的結構、布置形式和清洗力進行了研究，噴射角度在25°～125°范圍內可控，提出氣液混合清洗方式，結合自動化設備，在保護鏡面不受損傷的前提下，設計了一套針對大口徑光學鏡面的自動清洗裝置，可以在1 min內完成鏡面清洗。通過Zeta儀對清洗后的鏡面形貌進行觀測，剩余雜質顆粒直徑<10μm，無... （共8頁）