一種無附加運動二級縮小微動系統(tǒng)設計及性能分析

摘要： 為實現(xiàn)更小縮小比進而獲得更高運動精度的靈活運動空間，設計了一種無附加運動的二級縮小微動機構及壓電陶瓷致動器組成的微動系統(tǒng)，并對其驅動性能、運動性能和動態(tài)性能進行研究。基于柔性鉸鏈杠桿原理及附加運動平衡原理，設計了一種無附加運動的二級縮小微動機構，可實現(xiàn)輸入位移精密縮??；采用壓電陶瓷致動器驅動二級縮小微動機構，組成二級縮小微動系統(tǒng)；采用有限元法完成系統(tǒng)驅動性能、運動性能及動態(tài)性能... （共8頁）