基于交變磁場的平面二維時柵位移傳感機理及測量模型

摘要： 針對傳統(tǒng)的平面二維位移傳感器在超精密光刻、大面積傳感器制造中存在的技術(shù)瓶頸，提出一種基于空間交變磁場的平面二維位移測量方法。在定尺平面布置均勻等間距的正弦/余弦激勵繞組，施加時間正交激勵電流，構(gòu)建空間二維交變磁場，建立空間二維位移和時間基準(zhǔn)的映射關(guān)系。通過“維度判斷+位移解耦”的組合測量模型實現(xiàn)平面二維位移測量，利用動尺維度判斷感應(yīng)繞組陣列輸出信號經(jīng)二值化后的組合邏輯來判斷維度... （共13頁）