離子束拋光去除函數(shù)的在位快速計(jì)算與拋光實(shí)驗(yàn)

摘要： 目的 基于BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)使用法拉第杯掃描離子束流實(shí)現(xiàn)離子束拋光去除函數(shù)的在位快速計(jì)算。方法 對(duì)于空間分布不同的離子束流，通過法拉第杯掃描方法獲得電流密度分布信息，通過刻蝕實(shí)驗(yàn)計(jì)算去除函數(shù)分布信息，使用BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)對(duì)電流密度和去除函數(shù)分布之間的關(guān)系進(jìn)行擬合，建立基于BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)計(jì)算去除函數(shù)的模型。使用該模型可以實(shí)現(xiàn)對(duì)去除函數(shù)的在位快速計(jì)算，并應(yīng)用于光學(xué)元件的離子束拋光實(shí)驗(yàn)中。結(jié)果 ... （共8頁）